氯氢硅的化合价没有标对，应该是+2价；三氯氢硅中Si为+2价；H为+1价；Cl为-1价，代数和为0.
三氯氢硅又称硅氯仿。甲硅烷的三氯代物，化学式SiHCl3。为一种易流动的无色液体；熔点－126.5℃，沸点 33℃，密度1.34克/厘米³ ；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。
三氯氢硅液体用玻璃瓶或金属桶盛装，容器要存放在室外阴凉干燥通风良好之处或在易燃液体专用库内，要与氧化剂、碱类、酸类隔开，远离火种、热源，避光，库温不宜超过25℃。可用氨水探漏。
火灾时可用二氧化碳、干石粉、干砂，禁止用水及泡沫。废气可用水或碱液吸收。
三氯硅烷有水分时腐蚀性极强。可用铁、镍、铜镍合金、镍钢、低合金钢，不能用铝、铝合金。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚合体、氟橡胶、聚氯乙烯、聚乙烯、玻璃等。
三氯氢硅的化合价如下
H原子吸引电子的能力比硅强（H的电负性比硅大），所以H是-1价
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