国产光刻机国产化程度？

一支由清华大学机械工程系朱煜教授带队的清华大学研发团队，客服重重困难自主研发出了光刻机双工件台，这是中国光刻机再获得的一个重大突破。要知道光刻机制造的过程中，难度最大的就是双工件台的制造，毕竟双工件台是光刻机的两大核心部件之一，就连日本都没研发出来。有了双工件台就可以大大提高生产芯片的速度，这一成果让中国成为了世界上第二个可以生产双工件台的国家。虽然只是一个小小的成就和突破，但是也代表了中国企业发展芯片的决心，同时还显示出我国强大的自主科研能力，这一突破是中国光刻机领域的一小步，也是中国芯的一大步！